W dniach 12-13.12.2023 w katedrze Nanometrologii zorganizowano spotkanie robocze zespołów badawczych "20INS08 MetExSPM M27 project meeting" zaangażowanych w realizację projektu EU EMPiR MetExSPM. Podczas spotkania omówione zostały postępy prac z ostatnich miesięcy oraz planowane działania na najbliższy okres. Przedstawiciele zespołów realizujących poszczególne zadania zreferowali aktualny stan badań, ale oprócz tego mieli możliwość zwiedzenia laboratoriów badawczych Katedry Nanometrologii oraz zapoznania się z innymi badaniami realizowanymi w zespole K72, jak również obejrzenia przykładów infrastruktury dydaktycznej.

Celem projektu MetExSPM jest opracowanie narzędzi i metod pozwalających na utrzymanie spójności pomiarowej za pomocą szybkich sond mikroskopów bliskich oddziaływań SPM (ang. Scanning Probe Microscopy) z niepewnością 1 nm, oraz charakteryzowanie właściwości funkcjonalnych nanostruktur. Obecnie dostępne szybkie mikroskopy SPM są wszechstronnymi i potężnymi narzędziami do pomiarów w skali submikronowej, ale ich szybkość i niepewność pomiarowa nie spełniają wymagań przemysłu.

W projekt zaangażowani są przedstawiciele czterech europejskich instytucji metrologicznych (VTT, CMI, GUM, PTB), Politechniki Wrocławskiej oraz partnerzy przemysłu Carl Zeiss SMT, Nano Analytik (NA) i Physik Instrumente (PI).

Mikroskopy SPM, a w szczególności AFM (ang. Atomic Force Microsopy) mogą być z powodzeniem stosowane w identyfikacji m.in. wad nanoproduktów w zaawansowanych procesach produkcyjnych, co może pozwolić na zwiększenie produktywności i zmniejszenie strat, w takich gałęziach przemysłu jak nanoelektronika, budowa maszyn itp. Przyszłe innowacje w nanotechnologiach i nanonauce zależą od postępów w nanometrologii, m.in. z wdrożenia HS-SPM (ang. High Speed - SPM). Rozwiązania opracowane w ramach niniejszego projektu, a ukierunkowane na budowę HS-SPM będą mogły być bezpośrednio wdrażane w zastosowaniach przemysłowych. Szczególną grupą potencjalnych odbiorców są producenci mikroskopów SPM. Będą oni mogli wykorzystywać opracowane rozwiązania w swoich przyrządach, dzięki czemu aparatura będzie mogła pracować z większą dokładnością, a NMI (ang. National Metrology Institutes) będą dysponowały udoskonalonymi narzędziami badawczymi oferowanymi również w ramach usług pomiarowych dla użytkowników końcowych.

Koordynatorem projektu jest: Virpi Korpelainen (MIKES).

Krótka wideorelacja dostępna jest tutaj.