TWOJA PRZEGLĄDARKA JEST NIEAKTUALNA.
Wykryliśmy, że używasz nieaktualnej przeglądarki, przez co nasz serwis może dla Ciebie działać niepoprawnie. Zalecamy aktualizację lub przejście na inną przeglądarkę.
Data: 21.07.2022
W dniach 6-18 czerwca 2022 r. doktoranci Katedry Nanometrologii, Ewelina Gacka i Krzysztof Kwoka, odbyli wizytę naukową w Helmholtz-Zentrum Dresden Rossendorf (Drezno, Niemcy) w Centrum Wiązki Jonów. Wyjazd dotyczył modyfikowania za pomocą wiązki jonów helu i neonu układów mikroelektromechanicznych (MEMS): mikrobelek i mikromostków krzemowych, wyprodukowanych we współpracy z Instytutem Mikroelektroniki i Fotoniki w Warszawie. Mikroskop jonowy został wykorzystany do trawienia nanometrowych otworów w ścieżkach metalizacyjnych struktur, przygotowując je do osadzania emiterów polowych. W przyszłości nanometrowe emitery polowe mają stworzyć prototyp detektora wychyleń struktur MEMS.
Wyjazd był efektem wygranego projektu Short-Term Scientific Mission, pt. „Helium ion beam microscopy in fabrication of field emission-based MEMS” akcji COST CA19140 „Focused Ion Technology for Nanomaterials (FIT4NANO)” oraz przyznanemu “RADIATE Transnational Access”, zapewniającemu dostęp do sprzętu w HZDR. Opiekunem obu projektów był dr Gregor Hlawacek, a zostały one przyznane Ewelinie Gackiej.